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半导体绿色制造标杆 | 德图助力台积电实现精准 NOₓ减排与 ESG 升级
来源: | 作者:灵柯精密仪器 | 发布时间: 2026-06-12 | 3 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ | 分享到:

近日,德图仪器 Emission 团队携手我国台湾地区合作伙伴德斯特仪器,圆满完成全球半导体龙头企业台积电(TSMC)的烟气监测与数据管理项目交付。首批 15 套 testo 350 烟气分析仪及数据采集传输系统已全面投入台积电各厂区日常运行,为其废气治理升级、氮氧化物精准减排、绿色能效优化提供了坚实的数据支撑。

历经近 1 年半的深度协作,从前期用户需求调研、现场工艺勘察,到技术方案论证、样机测试验证,再到最终的系统部署与交付,德图团队与台湾德斯特紧密配合,成功解决了台积电在生产制造全流程中的废气检测、VOC 废气处理设备效率评估、厂区排放合规监测等多项核心难题,助力台积电践行绿色低碳发展理念。


项目背景

半导体巨头的绿色升级需求


作为全球知名的半导体制造企业,台积电始终将环保、绿色、低碳作为企业发展的核心战略之一。本次项目正是台积电为落实台湾地区《环境保护政策》,采用最佳可行技术实现空气污染物最低排放目标而启动的关键举措,旨在通过优化不同类型废气处理设备的燃烧工况,最终实现 60%-65% 的 NOₓ 减排目标。


台积电与德图的合作由来已久,多年来一直使用 testo 烟气分析仪进行厂区排口的废气排放合规监测。随着企业近年来在环境保护、绿色低碳、ESG 方向的全面深化发展要求,用户需求从简单的单点烟气检测,扩展到了对工艺过程定期&分时段在线监测,以及数据的同步上传和再利用、废气处理设备的燃烧优化和能效管理、再到废气的合规排放监测等多样化需求。具体如下:

  1. 践行绿色工厂以及 ESG 目标

  2. 废气处理设备燃烧优化调整

  3. 对脱硝工艺和效率进行监测

  4. 环保职能人员对每个厂区的终端排口废气进行手工监测

  5. 通过烟气测量验证厂商所供应设备是否达标

  6. 践行绿色工厂以及 ESG 目标

德图定制化解决方案

 精准测量 + 智能数据管理


针对台积电多样化、精细化的监测需求,德图团队联合台湾本地合作伙伴,为其量身打造了 "专业烟气测量 + 数据实时传输 + 设备智能调控" 的一体化解决方案。

经过多轮技术论证与现场测试,台积电最终选择了 testo 350 烟气分析仪(配置 O₂、CO、NO、NO₂、CO₂-IR 传感器),搭配模拟输出盒与MODBUS(RS485)模块的组合方案。该方案不仅完全满足日常手工巡检的需求,更能无缝集成到台积电现有的设备管理系统中,实现 "测量 - 数据传输 - 设备调节" 的全流程自动化闭环。


项目成效

全方位赋能绿色制造


目前,testo 350 烟气分析仪已全面部署于台积电台湾所有厂区,广泛应用于日常设备维护、燃烧系统调节与废气排放监测等工作,尤其在脱氮减排技术改进中发挥了关键作用。

1. 全流程精准数据支撑

从燃烧工况调整、NOₓ 源头减排、燃料消耗优化,到 CO₂ 减排与碳捕集利用(CCUS),德图烟气分析仪凭借高精度的测量能力,为每一个环节提供了可靠的数据依据,帮助台积电实现了废气治理的精细化管理。

2. 数字化数据管理升级

通过搭载模拟输出盒和 MODBUS(RS485)模块,testo 350 可将测量数据实时传输至台积电的设备管理平台,实现了测量数据的集中存储、分析与再利用。同时,基于 MODBUS 协议的远程控制功能,让运维人员无需亲临现场即可完成设备操作与故障排查,大幅提升了工作效率。

3. 持续的用户体验保障

德图便携烟气设备兼具专业性能与人性化设计,操作流畅、携带方便,即使在复杂的半导体生产环境中,也能为用户提供稳定可靠的测量体验,获得了台积电环保与运维团队的高度认可。



半导体行业的绿色低碳转型已成为全球共识,NOₓ 减排、RTO/TO 能效优化、ESG 数据支撑正成为行业企业的核心诉求。感谢台积电对德图技术与产品的信任与认可。

未来,德图将继续深耕工业测量领域,以专业的技术、精准的产品与完善的服务,为更多行业用户提供高效、智能的环保测量解决方案,携手推动全球制造业的绿色可持续发展。

如需了解更多德图工业烟气测量解决方案,欢迎后台留言咨询,我们将为您提供一对一的专业服务。


推荐仪器型号

testo 350 烟气分析仪

  1. 可测量 O2,CO,NO,NO2,SO2,CO2,H2S,CxHy 等烟气组分

  2. 加强型抗干扰 SO2/SO2low 传感器

  3. 内置高效气体预处理模块,实现气水分离

  4. 预标定传感器,即插即用,降本增效

  5. 数据/通信:模拟输出(4-20mA) 和 MODBUS (RS485通讯)

  6. 烟气净化前后同步测量


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